Sputtered Thin Film Pressure Sensor Advantage

Abstrakt

Sputtered Thin Film Pressure Sensors är enheter som används för att mäta och övervaka tryck i olika applikationer. Den här artikeln kommer att diskutera om dess arbetsprincip, fördelar och skillnaden mellan den och tjock filmteknologi.

Sputtered Thin Film Pressure Sensor

Sputted Thin Film Pressure Sensorshar fått betydande popularitet på grund av deras fördelar jämfört med traditionell avkänningsteknik.

Dess framtid är lovande med pågående forsknings- och utvecklingsinsatser. Med pågående framsteg förväntas de spela en allt viktigare roll i ett brett spektrum av industrier, såsom flyg-, fartyg, järnvägstransport, fordonets elektroniska stabilitetssystem (ESP) och elektroniska hydrauliska bromssystem (EHB) och dieselhögtryck Common Rail och andra fält, särskilt inom hydraulisk utrustning och fordon, som CRANES, SteamRolters, FORRKLIFTS OCH AMPRESFUNKTER FÖR AMPRIKT OCH AVMÄRKNING.

I framtiden förväntas de utvecklas i funktionerna i kompakt storlek, integrerade, digitala och intelligenta prestanda.

Sputtered Thin Film Pressure Sensor Working Principle

Den sputterade tunna filmtryckssensorn använder jonstrålen sputtering och etsningsteknik för att skapa tunnfilmmotstånd på ett elastiskt membran tillverkat av rostfritt stål. Dessa motstånd bildar en Wheatstone -bro. När vätsketrycket appliceras på det rostfria membranet, deformeras det, vilket leder till en förändring i motståndet. Wheatstone -bron genererar en elektrisk signal som är proportionell mot trycket. Genom en serie signalbehandlings- och felkorrigeringssteg omvandlas denna signal till en standard elektrisk utgång, vilket möjliggör tryckmätning.

Sputtered Thin Film Pressure Sensor Advantage

Sedan den isolerande filmen och underlaget, depositioneras den känsliga filmen och den isolerande filmen direkt i en högvakuummiljö. Interlagarna av filmen kombineras av atomkraften, vilket eliminerar effekten av kryp som orsakas av limbandet. Baserat på detta är sputter tunna filmtryckssensorer enastående när det gäller:

1. Hög noggrannhet. Sputtering deponeringstekniker möjliggör skapandet av tunna filmer med exakt tjocklekskontroll. Detta möjliggör tillverkning av mycket känsliga och exakta tryckavkänningselement. Och det har god repeterbarhet och hög tillförlitlighet.
2. Starkt resistent mot högintensiv vibration, påverkan och korrosion, utan läckage. Eftersom den tunna filmtryckssensorn svetsas till en helhet med hjälp av lasersvetsning eller plasmasvetsning svetsas den känsliga kärnkroppen och trycket i rostfritt stål. Därför har sputterade tunna filmtryckssensorer inga "O" gummitätningar. Det finns ingen silikonoljefyllning, och tryckmediet verkar direkt på den korrosionsbeständiga rostfritt stålkänsliga kärnan. Produkten tål högintensiv vibration och påverkan, och det finns absolut ingen fara för läckage.
3. Bra temperaturegenskaper. Den tunna filmtryckssensorn antar halvledarprocessteknologi och laserresistens trimningsteknik. De kan arbeta vid bredtemperaturintervall, till exempel -40 grad ... 125 grader och vi kan anpassa en för -55 ... 150 grader.
4. Högfrekvenssvar. Eftersom tryckmediet direkt verkar på den korrosionsbeständiga känsliga kärnan i rostfritt stål. Inget membran och fyllningsvätska. Därför är mätningen verklig och frekvenssvaret är hög.
5. Liten storlek. Våra sensorer är kompakta och hållbara. I någon applikation som har begränsat utrymme kvar möter våra sensorer utmaningen.

En sak att notera är att dålig bindning mellan det tunna filmsensorelementet och portmaterialet kan leda till tidig komponentfel under uthållighetstryckcykling. Det kräver dyr sputtringsutrustning och ett rent rum. Därför är det bara ledande tillverkare som kan driva sina anläggningar med rätt segregering för att undvika korskontaminering och därmed bibehålla den höga processstabiliteten. Medan Macsensor gör det.

Vi utformar och tillverkar sputterade tunna filmtryckssensorer baserat på de problem som är vanliga i industrierna, såsom allvarlig kavitation, hammarfenomen, högt topptryck, stor effektfluktuation, stor vibrationsstörningar och annan hård miljö i det hydrauliska systemet för byggmaskiner. Våra produkter kan uppfylla kraven i dessa arbetsvillkor.

Skillnaden mellan tjocka och tunna filmsensorer

Skillnaden mellan tjock film och tunna filmsensorer ligger i tjockleken på det använda motståndsskiktet. Tunna filmsensorer har en tjocklek av 0. 1 mikrometrar eller mindre, medan tjocka filmsensorer är tusentals gånger tjockare än tunna film motsvarigheter.

De är olika i metoden att tillämpa den resistiva filmen på underlaget. Tunna filmmotstånd har en metallisk film avsatt under vakuum på ett isolerande underlag. Däremot skapas tjocka filmmotstånd genom att skjuta en specialiserad pasta, sammansatt av metalloxider och glas, på underlaget.

Tunna filmsensorer erbjuder anmärkningsvärda fördelar, såsom högre noggrannhet, förbättrad temperaturkoefficient och förbättrad stabilitet. Medan tjocka filmsensorer föredras för applikationer där höga krav inte är avgörande, eftersom de är mer kostnadseffektiva.